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张小明 2026/1/9 21:58:01
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互连介质的k值为什么在降低#xff…知识星球星球名芯片制造与封测技术社区星球号63559049里的学员问为什么在芯片互连中介质的k值一直在降低有哪些低k的介质互连介质的k值为什么在降低随着 CMOS 技术进入45nm 及以下节点互连 RC 延迟成为关键瓶颈RC延迟见文章为什么节点越小RC延迟反而越大如上图金属线与金属线之间夹着介质层类似于一个电容而寄生电容是RC延迟的主要来源。而电容的表达式为Cε*A/dC电容值ε介电常数A电极面积 (互连金属线的宽度)d金属线之间的距离如表达式可以看出介电常数越大电容越大RC延迟越严重。芯片节点与k值的关系如上图k值逐渐由小于2.7降到小于2.1各类低k介质有哪些